
真空泵
SDL12E50
SDL20E50
SDL36E60
SDL3600
特点
通过组合可实现大排量化,满足15万L/min以上的性能需求。
通过高速排气缩短点火提前短缩
通过确保大气侧排气速度,实现大型路锁腔室的高速排气,从而缩短节拍时间。
| 规格 / 型号 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36E60 | SDL3600 |
| 最大排气速度 [L/min]*1 | 25,000 | 四万 | 六万 | 六万 |
| 干式泵最大排气速度 [L/min]*1 | 8,000 | 8,000 | 10,000 | 12,500 |
| 到达压力 [Pa]*1 | 0.8 |
| 电源电压 (50/60Hz) | 3相 AC200~220V,380~440V |
| 外观尺寸 [mm] L×W×H | 1000×520×1050 | 1370×850×1295 | 1370×600×1295 |
| 重量 [kg] | 645 | 800 | 920 | 950 |