日本厂家 TOFCO 东富科 流量计 USF600S-GC08 耐性的PFA树脂
2024-11-29 17:29:51
admin
超声波流量计
用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。本体采用了对强酸、强碱也有耐性的PFA树脂。
USF600S系列
USF600S-GC08
USF600S-GC10
USF600SL-GC08
USF600SL-GC10
特点
搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性
用拆装式电缆容易进行布线作业
检测器小型化
多通信（最多可连接31台）
性能
流体：纯水，浆液，药液（IPA，H姶O姶，H姶SO₄，H₃PO₄，HF，HCl，O₃，NH₃等）
最小流量：标准。0.001L/min
测量频道数：1频道
数据更新周期：10ms
最高使用压力：0.5MPa（G）
最高流体温度：90℃
使用环境温度：0～80℃（检测器）/0～50℃（转换器）无结露
测量方式：超声波传播时间差方式
通信功能：可连接RS-485（Modbus-RTU）最多转换器31台
