日本源头报价 ORC 欧阿希干燥处理器 VUM-3073F 形成精细模式

2025-03-06 18:02:26 admin

UV干燥处理器

VUM-3073F

用途

该设备通过在形成精细模式（例如半导体制造过程和液晶底物制造过程）的过程中将紫外线照射到底物表面上的有机物，从而消除有机物污染。可以清洁和修改表面而不会损坏板。

特长

它配备了独特的低压紫外灯，对板几乎没有损坏，并且具有很高的分解有机物的能力。

使用板摆动模式，将紫外线均匀辐射到板上。

板的加热不多。

可以应用两种切割臭氧和清除氮气的辐照方法。

规格

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