日本ANELVA-CONON佳能安内华 离子计 M-311HG-RS M-311HG-SP
日本ANELVA-CONON佳能安内华 离子计 M-311HG-RS M-311HG-SP
离子计（热阴极电离真空计）
M-311HG-SP
M-311HG-RS
10-7 从Pa到10 Pa，不牺牲超高真空侧的特性，可测量至超越溅射工艺的低真空区域
压力值的模拟信号输出响应时间在100毫秒以内，确保了高响应性，也可用于过程压力控制
4种发射电流设置模式
| 型号 | 离子计 | |
|---|---|---|
| M-311HG-SP | M-311HG-RS | |
| 压力测量范围 | 1×10-7 ～ 10 Pa | |
| 输入电压 | DC20 ～ 28 V | |
| 能耗 | 12 W | |
| 模拟输出 | 0 ～ 10 V | － |
| 设定点 | 2点继电器输出 | |
| 接口 | － | RS485 |
| 输入输出连接器 | Dsub-9（公头） | |
| 最大线缆长度 | 200 m（1 mm2） | |
| 使用温度范围 | 5 ～ 50 ℃ | |
| 保存温度范围 | -20 ～ 70 ℃ | |
| 传感器型号 | 迷你B-A轨距（MG-2I系列） | |
| 传感器材质（主要部分） | 丝：Y2O3/Ir、外壳：SUS304 | |
| 外形尺寸（mm） | 110×70×50 | |
| 法兰形状 | NW16, NW25, ICF34, ICF70 | |
| 对应 | CE标志、RoHS、IP40 | |