日本ANELVA-CONON佳能安内华 阀门 951-7120 951-7145
日本ANELVA-CONON佳能安内华 阀门 951-7120 951-7145
超高真空L型聚酰亚胺阀门
951-7145 9
51-7120
（型号：951-7145／951-7120）
| 型号 | 951-7145 | 951-7120 |
|---|---|---|
| 使用真空领域 | 大气压～10-8 Pa程度 | |
| 允许加热温度※1、2 | 300 ℃ | 300 ℃ |
| 密封材料 （垫片） | 聚酰亚胺树脂 | 聚酰亚胺树脂※4 |
| 推荐紧固力 （参考紧固扭矩※5） | 1225 ～ 1921 N（2～3.4 N・m） | 3920 ～ 4900 N（4.9 ～ 5.9 N・m） |
| 最大紧固力 （参考紧固扭矩※5） | 2626 N（5.9 N·m） | 7840 N（14.7 N・m） |
| 操作 | 手动 | 进行了几次烘焙 使用卡尼梅斯帕纳 |
| 电导 | 1 L/s | 30 L/s |
| 泄漏量※3 | 6.7×10-11 Pa・m3/s以下 | 6.7×10-11 Pa・m3/s以下 |
| 外形尺寸 | 参考外形尺寸图 | |
| 使用材料 | 本体：SUS-304 波纹管：SUS-304L 手柄：AL合金（黑色阳极氧化） | 本体：SUS-304 波纹管：SUS-304L 手柄：AL合金（黑色阳极氧化） |
| 连接法兰 | φ34ICF法兰 | φ70ICF法兰 |
| 质量 | 0.41 kg | 1.6 公斤 |
| 附件 | － | 卡尼梅斯帕纳、六角棒扳手 |