日本ANELVA-CONON佳能安内华 泄漏检测器 M-222LD
日本ANELVA-CONON佳能安内华 泄漏检测器 M-222LD
氦气泄漏检测器（泄漏测试）
M-212LD
M-212LD-D
M-222LD
M-222LD-D
M-232LD
M-222LD-H
M-222LD-D-H
M-222LD-D-H500
只需按下一个按钮，即可完成从设备启动到测量的所有操作
10-12 Pa･m3/s的高灵敏度，即使在长时间使用下也能保持高稳定性
采用长寿命钨丝，可进行长时间的高灵敏度测量。此外，基于24小时运行系统的搭载前提，各部件均采用坚固的设计
规格
标准类型
型号 M-212LD M-212LD-D M-222LD M-222LD-D M-232LD 版本 紧凑 紧凑型干燥 高功率 超强干燥 嗅探器 定量测量范围
（Pa･m3/s）10-12 ～ 10-3 10-6 ～ 10-1
（10-2 ～ 105 ppm）进气口
排气速度
（相对于He，L/s）总计
模式0.5 ― 1.8 2.0 探针吸引速度
0.3 Pa・m3/s中位数
众数2.0 1.0（Middle2）
4.0（Middle1）2.0 2.0 精细
模式― 7.0 ― ― 进水口形状 NW25（ISO） 嗅探探针 主泵 种类 涡轮分子泵 排气速度 50 L/s 70 L/s 50 L/s 粗引き泵 种类 油转动泵 隔膜泵 油转动泵 滚动
干式泵油转动泵 排气速度 30 L/min 15 升/分钟 236 升/分钟 250 L/min 30 L/min
＋ダイヤラム泵外部接口 RS-232C
模拟输出（2点）・标准 I/O显示器 4.1英寸彩色液晶 嗅探探针 选项
（型号：981-9370）选项
（另行协商）选项
（型号：981-9371）标准 所需电力 交流 100-120 伏特 8 安培 交流 100-120 伏特，6.3 安培 交流 100 伏 15 安培 交流 100 - 120 V 15 A
交流 200 - 240 V 10 A交流 100 - 120 伏特 8 安培 外形尺寸
（宽×高×深）（mm）435×487×364 462×867×715 435×470×363 质量（kg） 42 39 85 42 高感度类型・大容量粗拉类型
型号 M-222LD-H M-222LD-D-H M-222LD-D-H500 版本 高感度高功率 高感度超强力干洗 超强力干燥500 定量测量范围
（Pa･m3/s）10-13 ～ 10-3 10-12 ～ 10-3 进气口
排气速度
（相对于He，L/s）总计
模式1.8 2.0 3.5 中位数
众数4.0 4.0 4.0 精细
模式7.0 7.0 7.0 进水口形状 NW25（ISO） 主泵 种类 涡轮分子泵 排气速度
（L/s）70 粗引き泵 种类 油转动泵 滚动
干式泵多根
干泵排气速度
（L/min）236 250 500 外部接口 RS-232C
模拟输出（2点）・标准 I/O显示器 4.1英寸彩色液晶 嗅探探针 选项
（型号：981-9371）― 所需电力 交流 100 伏 15 安培 交流 100 - 120 V 15 A
交流 200 - 240 V 10 A交流 100 - 120 伏特 8 安培 外形尺寸
（宽×高×深）（mm）462×867×715 质量（kg） 85