日本ANELVA-CONON佳能安内华 制冷泵 P-081CL
日本ANELVA-CONON佳能安内华 制冷泵 P-081CL
POWER/POWERECO系列制冷泵
P-080C
P-081C
P-081CL
P-082C
P-083C
P-100C
P-100CL
P-101C
P-101CL
P-120C
P-120CL
P-121C
P-121CL
P-122C
P-085C
P-086C
P-086CL
P-087C
P-105C
P-105CL
P-106C
P-106CL
P-107C
P-128C
P-128CL
P-160C
P-160CL
P-161C
P-161CL
P-206C
P-226C
通过制冷机的自发热功能，实现无需加热器的安全高速再生。
在冷却时（20K以下），通过高速冷却运行，以高速运行制冷机，在短时间内完成冷却。
规格
POWER系列制冷泵性能规格
| 泵型号 | P-080C | P-081C | P-081CL | P-082C | P-083C | P-100C | P-100CL | P-101C | P-101CL | P-120C | P-120CL | P-121C | P-121CL | P-122C | 备注 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 口径 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 12 英寸 | 12 英寸 | 12 英寸 | 12 英寸 | 12 英寸 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 形状 | 纵向 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 纵向 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 横型 | 纵向 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 排气速度（L/s） | 窒素 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 氩 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 氢 | 1,000 | 2,500 | 2,200 | 1,000 | 1,000 | 3,000 | 3,000 | 3,800 | 3,700 | 3,600 | 3,000 | 6,000 | 5,000 | 3,000 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 水 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | 9,800 | 9,800 | 9,800 | 9,800 | 9,800 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 最大排气流量（Pa･m3/s） | 1.5 | 1.2 | 1.2 | 1.5 | 1.5 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 氩 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 最大气体瞬时许用量（Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 冷却时间（分钟） | 45 | 50 | 65 | 45 | 50 | 70 | 80 | 70 | 80 | 60 | 90 | 70 | 100 | 60 | ＊1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 升温时间（分钟） | 30 | 30 | 30 | 30 | 35 | 35 | 40 | 35 | 45 | 35 | 40 | 40 | 50 | 35 | ＊1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 再生时间（分钟） | 75 ＋α | 80 ＋α | 95 ＋α | 75 ＋α | 85 ＋α | 105 ＋α | 120 ＋α | 105 ＋α | 125 ＋α | 95 ＋α | 130 ＋α | 110 ＋α | 150 ＋α | 95 ＋α | ＊1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 排气容量 （Pa･m3） | 氩 | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 190,000 | 160,000 | 140,000 | 160,000 | 140,000 | 260,000 | 200,000 | 260,000 | 200,000 | 400,000 | ＊2 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 氢 | 1,300 | 1,800 | 1,600 | 1,300 | 1,300 | 1,600 | 1,300 | 2,000 | 1,800 | 1,600 | 1,400 | 2,400 | 2,200 | 1,600 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 到达温度（K） | 15 以下 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 到达压力（Pa） | 10-7台 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 最高加热温度（℃） | 70 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10 ～ 35 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 推荐维护时间（h） | 16,000 以内每 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 质量（kg） | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | 27 | 25 | 27 | 29 | 30 | 29 | 30 | 30 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 驾驶台数量（台） | E-77NL | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | ＊3 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
＊ 1）冷却时间（20K 以下）是高速冷却运行下的值，升温时间为在无吸附气体的情况下，仅使用吹扫气体引入+ 自发热功能时的数值。
再生时间中的“＋α”是指粗提等所需的时间。
＊ 2）排气容量是根据我们独特的评估方法得出的，是实际设备使用时对应的实用值。
＊ 3）取决于泵的入热负荷量。
※本规格值是泵单独时的数值。安装真空装置时的数值会受到安装环境气体释放和热负荷等因素的影响。
本规格可能因产品改良等原因在不另行通知的情况下进行变更。
小型POWERECO系列制冷泵性能规格
| 泵型号 | P-085C | P-086C | P-086CL | P-087C | P-105C | P-105CL | P-106C | P-106CL | P-107C | 备注 | |||||||||||||||||||
| 口径 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 8 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | 10 英寸 | ||||||||||||||||||||
| 形状 | 纵向 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 纵向 | 横型 | 纵向 | 横型 | 纵向 | ||||||||||||||||||||
| 排气速度（L/s） | 窒素 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | 2,200 | |||||||||||||||||||
| 氩 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | 1,600 | ||||||||||||||||||||
| 氢 | 1,000 | 2,500 | 2,200 | 1,000 | 3,000 | 3,000 | 3,800 | 3,700 | 2,600 | ||||||||||||||||||||
| 水 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | 7,100 | ||||||||||||||||||||
| 最大排気流量（Pa･m3/s） | 1.2 | 1.2 | 1.1 | 1.2 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | アルゴン | |||||||||||||||||||
| 最大ガス瞬間許容量（Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | ||||||||||||||||||||
| 冷却時間（分） | 60 | 65 | 80 | 60 | 75 | 90 | 85 | 100 | 120 | ＊1 | |||||||||||||||||||
| 昇温時間（分） | 40 | 40 | 45 | 40 | 45 | 50 | 45 | 50 | 50 | ||||||||||||||||||||
| 再生時間（分） | 100 ＋α | 105 ＋α | 125 ＋α | 100 ＋α | 120 ＋α | 140 ＋α | 130 ＋α | 150 ＋α | 170 ＋α | ||||||||||||||||||||
| 排気容量 （Pa･m3） | アルゴン | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 160,000 | 140,000 | 160,000 | 140,000 | 300,000 | ＊2 | ||||||||||||||||||
| 水素 | 1,300 | 1,800 | 1,600 | 1,300 | 1,600 | 1,300 | 2,000 | 1,800 | 1,600 | ||||||||||||||||||||
| 到達温度（Ｋ） | 15 以下 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 到達圧力（Pa） | 10-7台 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 最大加熱温度（℃） | 70 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 環境温度範囲（℃） | 10 ～ 35 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 推奨メンテナンス時間（h） | 16,000 以内毎（エコシステムでは延長されます） | ||||||||||||||||||||||||||||
| 質量（kg） | 22 | 22 | 22 | 23 | 25 | 27 | 24 | 25 | 29 | ||||||||||||||||||||
| 運転台数（台） | E-77NL | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | ＊3 | ||||||||||||||||||
| CSW-61CN2 | 6 | 6 | 6 | 6 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | ||||||||||||||||||||
中型・大型POWERECOシリーズクライオポンプ性能仕様
| ポンプ型名 | P-128C | P-128CL | P-160C | P-160CL | P-161C | P-161CL | P-206C | P-226C | 備考 | |||||||||||||||||||||||
| 口 径 | 12 インチ | 12 インチ | 16 インチ | 16 インチ | 16 インチ | 16 インチ | 20 インチ | 22 インチ | ||||||||||||||||||||||||
| 形 状 | 縦型 | 横型 | 縦型 | 横型 | 縦型 | 横型 | 縦型 | 縦型 | ||||||||||||||||||||||||
| 排気速度（L/s） | 窒素 | 4,000 | 4,000 | 7,500 | 6,800 | 7,500 | 6,800 | 13,000 | 17,000 | |||||||||||||||||||||||
| アルゴン | 3,200 | 3,200 | 6,300 | 5,700 | 6,300 | 5,700 | 9,000 | 11,000 | ||||||||||||||||||||||||
| 水素 | 6,000 | 5,000 | 5,500 | 5,000 | 11,000 | 10,000 | 17,000 | 23,000 | ||||||||||||||||||||||||
| 水 | 9,800 | 9,800 | 19,000 | 19,000 | 19,000 | 19,000 | 30,000 | 39,000 | ||||||||||||||||||||||||
| 最大排気流量（Pa･m3/s） | 2.2 | 2.2 | 2.2 | 2,2 | 2.0 | 2.2 | 3.0 | 2.7 | アルゴン | |||||||||||||||||||||||
| 最大ガス瞬間許容量（Pa･m3） | 40 | 40 | 50 | 50 | 50 | 50 | 80 | 133 | ||||||||||||||||||||||||
| 冷却時間（分） | 110 | 115 | 70 | 95 | 90 | 120 | 100 | 120 | ＊1 | |||||||||||||||||||||||
| 昇温時間（分） | 70 | 70 | 40 | 60 | 60 | 60 | 80 | 80 | ||||||||||||||||||||||||
| 再生時間（分） | 180 ＋α | 185 ＋α | 110 ＋α | 155 ＋α | 150 ＋α | 180 ＋α | 180 ＋α | 200 ＋α | ||||||||||||||||||||||||
| 排気容量 （Pa･m3） | アルゴン | 270,000 | 200,000 | 400,000 | 200,000 | 400,000 | 200,000 | 650,000 | 1,000,000 | ＊2 | ||||||||||||||||||||||
| 氢 | 4,000 | 3,500 | 1,600 | 1,400 | 3,400 | 3,000 | 7,500 | 7,500 | ||||||||||||||||||||||||
| 到达温度（K） | 15 以下 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 到达压力（Pa） | 10-7台 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 最高加热温度（℃） | 70 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10 ～ 35 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 推荐维护时间（h） | 16,000 以内每（在生态系统中会延长） | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 质量（kg） | 37 | 39 | 50 | 62 | 50 | 62 | 67 | 87 | ||||||||||||||||||||||||
| 驾驶台数量（台） | E-77NL | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 1 | 1 | ＊3 | ||||||||||||||||||||||
| CSW-61CN2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 1 | 1 | ||||||||||||||||||||||||