日本ANELVA-CONON佳能安内华 气体监测仪 M-080QA-HPM
日本ANELVA-CONON佳能安内华 气体监测仪 M-080QA-HPM
气体监测仪
M-080QA-HPM
特点
从腔室到达压力到溅射工艺压力，实现无缝测量
在成膜过程中能够高灵敏度地检测到氢气
维护周期长，运行成本低
通过各种警报功能检测生产过程中的异常
规格
机型名称 M-080QA-HPM 基本性能 测量质量数范围 1～80 m/z 动作压力 2 Pa以下 最小检测浓度 5 ppm（H2を除く）、H2：100 ppm以下 感度
（N2）FC 7.5×10-9 A/Pa以上 SEM 7.5×10-5 A/Pa以上 分解能 ＜ 1 amu @10 % of peak heigt 规格 丝状物 意大利コート伊里듐1根 烘烤温度 250 ℃（仅限分析管） 连接法兰 φ70ICF 定格输入电压 AC100 V～AC240 V 质量 分析管 1.1 kg 控制器 2.2 kg 通信接口 RS-232C/485 控制软件 QUADVISION3 兼容 Windows 7、8.1、10、11