日本ANELVA-CONON佳能安内华 真空计 M-833HG
日本ANELVA-CONON佳能安内华 真空计 M-833HG
日本ANELVA-CONON佳能安内华 真空计 M-833HG

M-833HG
专为微型B-Aゲージ设计的控制单元。
可选配支持多种ゲージ、数据输出等的扩展板。
通过搭载微型B-Aゲージ与TCゲージ(可选)的组合,以及进行ゲージ自动切换的自动丝材装置,可实现从大气压至超高真空的高精度真空测量。
适合搭载高真空至超高真空装置。
规格
| 型号 | M-833HG | |
|---|---|---|
| 测量球 | 迷你比例尺MG-2系列 | |
| 压力表示范围 | 0.1×10-7 ~ 1.32×101 Pa ※1 | |
| 压力表示 | 测量范围自动切换 | |
| 设定点 | 2点标准装备(开放收集) | |
| D/A输出 | 0 ~ 10 V:尾数部输出、指数部输出 0 ~ 11 V:复合输出或Log输出 | |
| 模拟输出 (电位计输出) | APC模式设置时(0.1 ~ 2.5 V) 普通模式设置时(0.1 ~ 1.6 V) | |
| 外部控制功能 (远程操作) | 输入 | 丝印ON/OFF 脱气ON/OFF 等6种外部控制功能 |
| 输出 | 6种状态信号输出 | |
| 特殊功能 | APC支持:レンジ保持功能 电位计输出功能 | |
| 外形尺寸(mm)・质量 | 高99×宽209×深330、1.9 kg(未安装可选板时) | |
| 所需电力 | 100 ~ 240 VAC ※2 100 VA以下、50/60 Hz | |
| 发射电流 | 10 μA、100 μA、1 mA自动切换设置或固定设置 | |
| 排气 | 网格通电加热方式 | |
| 切换丝线 | 键及远程I/O操作 | |
| 丝材保护 | 超限设定值或发射电流±50%的波动 | |
| 标准配置 | 真空计本体(测量球及电缆不包含在内) | |
| 对应 | CE 标志、RoHS | |