日本渠道 TOFCO 东富科 超声波流量计 USF500S-G08 搭载DSP功能

超声波流量计

用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。本体采用了对强酸、强碱也有耐性的PFA树脂。

USF500S系列

USF500S-G08、USF500S-G10、USF500S-G15、

USF500S-G20、USF500S-G25、USF500S-GZ08、

USF500S-GZ10、USF500S-GZ15、USF500S-GZ20、USF500S-GZ25

USF500SL-G08、USF500SL-G10、USF500SL-G15、

USF500SL-G20、USF500SL-G25、USF500SL-GZ08、

USF500SL-GZ10、USF500SL-GZ15、USF500SL-GZ20、USF500SL-GZ25

特点

搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性

用拆装式电缆容易进行布线作业

可支持高温流体（Max.200℃，高温规格）

多通信（最多可连接31台）

性能

流体：纯水，浆液，药液（IPA，H姶O姶，H姶SO₄，H₃PO₄，HF，HCl，O₃，NH₃等）

测量频道数：1频道

数据更新周期：10ms

测量输出：4-20mA

●分辨率：12bit（约1/4000步）

●最大负载电阻：600Ω

●输出端口：输出端口：1系统

根据瞬时流量值、累计值选择

●瞬时流量范围：与上述测定流量范围相同

●累计流量范围：上限设定（20mA）可任意设定

G08/G10：～32.00L（设定步骤0.001L）

G15/G20/G25HK：～320.00L（设定步骤0.01L

通信功能：可连接RS-485（Modbus-RTU）最多转换器31台

通信速度：960019200384057600bps

电源电压：DC24V±10%

消耗电流：通常时：100mA以下（冲击电流：约8A/0.5ms以下）