日本走空运 TOFCO 东富科 流量计 USF600S-GC08 搭载DSP功能

超声波流量计

用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。本体采用了对强酸、强碱也有耐性的PFA树脂。

USF600S系列

USF600S-GC08

USF600S-GC10

USF600SL-GC08

USF600SL-GC10

特点

搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性

用拆装式电缆容易进行布线作业

检测器小型化

多通信（最多可连接31台）

性能

流体：纯水，浆液，药液（IPA，H姶O姶，H姶SO₄，H₃PO₄，HF，HCl，O₃，NH₃等）

最小流量：标准。0.001L/min

测量频道数：1频道

数据更新周期：10ms

最高使用压力：0.5MPa（G）

最高流体温度：90℃

使用环境温度：0～80℃（检测器）/0～50℃（转换器）无结露

测量方式：超声波传播时间差方式

通信功能：可连接RS-485（Modbus-RTU）最多转换器31台

通信速度：960019200384057600bps

电源电压：DC24±10%

消耗电流：通常时100mA以下（冲击电流：约8A/0.5msec以下）