日本 magnescale 索尼 磁栅尺 BH25-RED 高精度反射式
日本 magnescale 索尼 磁栅尺 BH25-RED 高精度反射式
BH25系列
磁栅尺
BH25-RED
BH25-NED
特点
信号波长250nm的高精度反射式激光尺。非常适合薄平台、半导体后处理设备和精密显微镜。
信号波长：250nm
高精度：±1μm/420mm
高速响应：1,800mm/s
最高分辨率：下午 3.8 点
阵容：有原产地、无原产地
完全非接触：原则上不存在返回错误。
刻度部分：零玻璃、无碱玻璃
厚度：12mm薄头
兼容各种分辨率和输出格式（BD96、BD700等，取决于插值器）
真空（特殊规格产品）
规格
| 型号名称 | BH25-红色 | BH25-NED |
| 有效长度（毫米） | 30/70/120/170/220/270/320/370/420/470/520/570/640 （零玻璃、无碱玻璃） | |
| 秤总长度 | 有效长度+26mm | |
| 最大可动长度 | 有效长度+10mm | |
| 准确度（20℃时） | ±0.5μm (30mm-170mm) ±1.0μm (220mm-420mm) | |
| 晶格间距 | 1.0μm | |
| 信号波长 | 0.25微米（250纳米） | |
| 原点位置 | 1 分 | 没有什么 |
| 原点检测方向 | 单向 | - |
| 温度膨胀系数 | 0.1×10 -6 /℃（零玻璃） 3.7×10 -6 /℃（无碱玻璃） | |
| 光源 | 半导体激光器波长790nm 输出6mW | |
| 检测方法 | 衍射光栅扫描型 | |
| 工作温度范围 | 10℃～30℃（无凝露） | |
| 储存温度范围 | -10℃至50℃（湿度必须低于60%） | |
| 最大响应速度 | 1,800毫米/秒 | |
| 输出信号 | 插补器连接等 | |
| 输出分辨率 | 取决于插补器的划分数 | |