日本原装 magnescale 索尼磁栅尺 BS78 高分辨率

磁栅尺

BS78

特点

在保持高速和高分辨率的同时实现稳定和超精确的测量。最适合精密工作台、半导体检查/制造设备、超精密加工机等。

信号波长为 138 nm 的高分辨率标尺，超过光波干涉仪

高稳定性，不受湿度、压力和空气湍流的影响

原点精度：±0.1μm

精度：±0.04μm以下（有效长度40mm）

完全非接触，原则上不会出现退货错误

有效长度：40～420mm、9种（-R/-RS）

有效长度：10～420mm，10种（-N/-NS）

真空、非磁性兼容（特殊规格）

使用低膨胀玻璃：-0.7×10 -6 /℃（有效长度：10～420mm）

分辨率：2.1pm

规格

型号名称	BS78
有效长度：L（毫米）	10/40/70/120/170/220/270/320/370/420（10 仅适用于 N/NS）
秤总长	58mm（有效长度10mm：悬臂式）有效长度+26mm（有效长度40～420mm）
最大可动长度	有效长度+2mm（有效长度10mm：悬臂式）有效长度+10mm（有效长度40～420mm）
准确度（20℃时）	NS型/RS型： ±0.03μm（有效长度10mm）（仅限NS型） ±0.04μm（有效长度40mm） ±0.10μm（有效长度70/120mm） ±0.18μm（有效长度170/220mm） ±0.25μm（有效长度270mm） ±0.34μm（有效长度320mm） ±0.39μm（有效长度370mm） ±0.44μm（有效长度420mm）	N型、R型： ±0.06μm（有效长度10mm）（仅限N型） ±0.08μm（有效长度40mm） ±0.20μm（有效长度70/120mm） ±0.35μm（有效长度170/220mm） ±0.50μm（有效长度270-370mm） ±0.65μm（有效长度420mm）
晶格间距	约0.55μm
信号波长	约0.138μm（约138nm）
原点精度	±0.1μm（仅限R/RS型）
原点位置	距中心及中心左右各50mm（仅限320、370、420mm有效长度，以50mm间隔距中心偏移20mm）
原点检测方向	单向
温度膨胀系数	-0.7×10 -6 /℃
光源	半导体激光器波长790nm 输出6mW
辐射功率	DHHS 1 级
检测方法	衍射光栅扫描型
工作温度范围	10℃～30℃（无凝露）
储存温度范围	-10°C 至 50°C（湿度 60% 或更低）
最大响应速度	400毫米/秒

日本原装 magnescale 索尼 ​磁栅尺 BS78 高分辨率