KASUGA 春日电机 电位传感器 KS-3101 支持真空 源头报价

支持真空的静电电位传感器

KS-3101

由于真空中缓和静电的气体成分稀薄，静电会导致比大气压环境更严重的生产障碍。

支持真空的静电电位传感器是使用能够在真空环境下使用的材料或部件，可以用于测量真空内产生的静电的传感器。 请用于确定真空工序中静电产生的原因，以及连续监视静电电位。

排气装置:涡轮分子泵TG220FCAB ㈱ (株)大阪真空设备制作所制

排气速度: 220 L/sec (N2 )

暗箱尺寸:φ300 × L 300㎜

※该数据为实测值，并非保证值。

规格

型号 ：KS-3101

检测方式： 振动型表面电位传感器

推荐使用真空度：10 5Pa (大气压)、10-1~10-5帕a

测量范围 ：

HIGH范围:0~±20.0kV (测量距离100mm )

LOW范围:0~±2000V (测量距离10mm )

测量精度： ±10%以内

警报 ：检测传感器故障LED显示

使用环境： 温度0~40℃、湿度65%以下(无结露)

质量： 约130g (不含电缆、控制箱)

构成必需品：

真空用电缆: KS-3101-C01 (电缆长1m，可延长)

控制箱: KS-3101-B05 (带大气侧电缆5M，可延长)

控制器: KSD-0110

※真空法兰请用户自行准备。