直线电机VPDM-6.5ACTR、VPDM-6.5ACT、VPDM-13ACTR、VPDM-13ACT特征可实现远程操作的高分辨率小型直线驱动器。安装尺寸和常用微分头有互换性。推杆直径有标准φ9.5mm和小型φ6mm两种。推杆端面有平面(VPDM-**ACT)和球面(VPDM-**ACTR)两种。VPDM-6.5ACT 规格端面形状 平面行程 6.5mm以上(最大13mm)最小位移量 30nm以下驱动力 13N最大移动速度 1.5mm/min自重 0.02kg