
非接触式超声波清洗机(基板/单面)
USG-401S
USG-401H
节省空间和节能的超声波基板清洁器。
鼓风机单元还通过控制风量实现了省电和轻量化。通过增加气压和声压
有效宽度为100mm至3000mm以上,可处理各种尺寸的基板。
与传统类型的比较
1400mm板比 USG-401S 优点
头部尺寸 ▲50% 节省空间
鼓风机单元尺寸 ▲12% 节省空间
鼓风机单位重量 ▲20% 轻量级
鼓风机评级 ▲25% 微型化
功耗 ▲22% 省电
运行成本 ▲20% 节能
初始费用 ▲20% 价格低廉
除尘性能
可以 100% 去除 1.6 μm 或更大的细颗粒实验条件
实验设备 我们洁净室的输送机(100级)
除尘目标 液晶用玻璃基板(370×470×0.7mm Cr膜)
尘埃颗粒 用于液晶的垫片(Micropearl 1.6·3·5·10μm),玻璃粉尘
头排出压力 13kPa
基板间隙 1.5毫米
运输速度 100/200 / 300毫米/秒
评估设备 CCD相机