厂家 HUGLE 藤宫 扩展机 HS-1840-AC 支持各种扩展环
厂家 HUGLE 藤宫 扩展机 HS-1840-AC 支持各种扩展环
扩展机
HS-1840-AC
特征
载物台行程调整机构（最大 80 毫米，1 毫米范围）
舞台上升速度可变机构
最大晶圆尺寸 8 英寸
支持各种扩展环和框架
通过马达驱动使载物台上升，可以进行高精度的行程设定。
可用于晶圆和芯片转移应用
规范
电源 AC 100 V 5 A，50/60 Hz
重量 35公斤
大小 655 (D) x 386 (W) x 416 (H) 毫米