照射机MODEL-365产品概述最大支持 300mm 晶圆通过触摸屏轻松操作10,000 小时紫外线照射的长寿命设计N2吹扫时间和照射时间可任意设定具有自诊断功能(LED断线时报警输出)不产生臭氧带冷却风扇的温度控制规范主波长 365nm 70mW/㎠效用 AC-100V (50/60Hz) 最大 3.5AN2设备尺寸(宽x深x高) 550×800×140设备重量 25公斤