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电容式非接触式测厚仪
CL-5610
CL-5610S
CL-5610/CL-5610S是一款非接触式测厚仪,连接Gap Detector VE系列传感器,测量导体、半导体和绝缘体的厚度。最多可连接两个 VE 系列传感器。它还可以用作 2 通道间隙测量设备。
CL-5610内置传感器放大器,将VE传感器直接连接至测厚仪本体即可使用。 适用于桌面离线测量(传感器与主机之间的电缆为1.5 m,不可延长)。
CL-5610S外部具有独立的传感器放大器,VE传感器和测厚仪本体分开使用。 主机和外部放大器之间的标准电缆长度为 2.5 m,并且可以选择延长至 10 m。适合将传感器安装位置和测厚仪主体安装在彼此远离的位置,例如将其合并到设备中时。
特征
丰富的测量项目
可以测量厚度和间隙。您还可以显示每个偏差值、最大值、最小值和最大宽度值(最大值 - 最小值)的计算值。
除了导体和半导体之外,还可以测量绝缘体的厚度。
CL-0300 绝缘测量功能(可选)可让您测量塑料薄膜和玻璃板等绝缘材料的厚度。
即使对于无法完全去除电导率的样品,也可以进行稳定的厚度测量。
当将样品固定在涂有氟基薄膜的桌子上时,很难保持样品和主体之间的连续性(常见)。以前,需要通过大面积接触样品来确保稳定性,但通过 CL-0210 高阻抗接地模式功能(可选),可以减少该面积。另外,在同一面积内可以保证更高的稳定性。
通过高分辨率计算功能选件(CL-0200)可实现最小显示分辨率0.02μm *1
*1 使用 VE-2011/VE-5010/VE-5011 时。当使用 CL-0201 测量范围更改选件将测量范围设置为 20 至 200 μm 时,VE-5010/VE-5011 适用。
最多可保存6种传感器校准值
CL-5610系列最多可保存6个传感器校准信息,因此您可以根据测量范围和分辨率选择和使用最合适的传感器。
能够连续地将数据导入PLC或PC
提供三种类型的数据输出功能:模拟电压输出、BCD 输出和RS-232C。您可以根据您的录音设备选择输出。模拟输出和BCD输出可以以20ms的数据更新间隔检索数据。通过在移动样品的同时进行测量,还可以测量连续的厚度值,这对于检测片材的厚度不均匀性是必需的。
*模拟输出需要输出功能选件(CL-0110),BCD 输出需要 BCD 输出功能选件(CL-0120)。
仪器可外部控制
为了在生产线、检查线等上进行自动测量,需要从外部控制本装置。 CL-5610标配一个触点控制端子和一个RS-232C端子,因此可以通过PLC或PC轻松控制。
外形规格
测量目标 | 导体、半导体、绝缘体*1 *1 CL-0300 需要绝缘体测量功能选件。 |
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传感器输入 | 2 通道(A、B)电容式传感器 |
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测量项目 | 被测物体的厚度(导体、半导体、绝缘体<选件CL-0300>) 传感器 A 与测量目标(导体、半导体)之间的间隙 (A) 传感器 B 与测量目标(导体、半导体)之间的间隙 (B) A 和 B 之间的差异 (A - B)
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显示方式 | |
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兼容的传感器和显示分辨率 | 与新型VE系列电容式间隙检测器配合使用时,显示分辨率如下。
传感器类型 | 测量范围 (μm) | 分辨率(微米) |
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标准 | 安装CL-0200高分辨率计算功能选件 时 |
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VE-2011 | 20~200 | 0.1 | 0.02 | VE-5010 | 50~500 20~200 *1 | 0.1 | 0.05/0.02 *1 | VE-5011 | VE-1020 | 100~1000 | 0.1 | 0.1 | VE-1021 | VE-1520 | 150~1500 | 0.5 | 0.2 | VE-3020 | 300~3000 | 1 | 0.5 | VE-8020 | 800~8000 | 2 | 1 | VE-8021 |
*1:对于 VE-5010/5011,可以使用 CL-0201 测量范围更改选项将测量范围指定为 20 至 200 μm。在这种情况下,安装高分辨率选件时的显示分辨率将为 0.02 μm。 *测量绝缘体时,请以测量范围约1/3的厚度为指导。 例)使用VE-1020时,绝缘体的厚度约为350μm以下。 |
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准确性 | ±0.15 %/FS(标准) ±0.12 %/FS(安装 CL-0200 高分辨率计算功能选件时 <VE-8020/8021 除外>) |
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精度保证温度范围 | 23℃±2℃ |
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显示部分 | 荧光显示管测量结果 显示可在1项(大写)和2项(小写)之间切换 |
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参数设置 | 使用面板上的各种按键在内存中设置测量和计算所需的各种参数。即使电源关闭,这些设置也会存储在断电存储器中。 |
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采样时间 | 20毫秒 |
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平均 | 移动平均线:1至64倍 |
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界面 | RS-232C:允许远程控制仪器和导入测量数据。可在 DPU-414 打印机(单独出售)上打印 |
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BCD输出功能 (选配:CL-0120) | 以 6 位并行 BCD 输出测量结果 输出方式:集电极开路输出 输出数据:从 GAP-A、GAP-B、THICK、AB、DISP2 显示值中选择 数据更新时间:20 ms 连接电缆:AA-8207 ( 3 m,一侧开放) |
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遥控功能 |
远程终端可通过外部操作启动/停止计算功能、校准厚度等。引脚排列和输入信号
A | 电源 | 输入 DC 5 至 24 V。 如果从外部电源提供 DC 6 V 或更高电压,请插入一个电阻。 |
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B | START | 与START键功能相同 |
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C | STOP | 停止计算模式 |
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D | PAUSE | 与 PAUSE 键功能相同 |
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E | CALIB | 仅在使用注册的测量目标参考件数据进行校准和导体测量期间有效 - 测量目标参考件的厚度无法更改。 |
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F | START STATUS | 在计算模式和计算暂停模式下切换有效。 |
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G | +5V输出 | 输出 +5V(最大值:0.3A) |
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H | COMMON | 连接0V |
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*兼容连接器:R03-PB8M(多治见无线电制造) |
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同步功能 | 多台 CL-5610/CL-5610S 可并行和同步操作(1 台主设备最多 2 台)*1
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电源 | 交流100V~240V 50/60Hz |
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使用环境(仅限主机) | 温度:+23℃±2℃(精度保证范围)、0℃~+40℃(使用范围) 湿度:20~80%RH(无凝结) |
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外形尺寸 | 210(宽)x 99(高)x 275(深)毫米(CL-5610/CL-5610S 主体,不包括突出部分) 56(宽)x 42.4(高)122(深)毫米(CL-5610S 转换器) (不包括突出物) |
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重量 | 约 4.2 kg(CL-5610/CL-5610S 主体) 约 0.5 kg × 2(CL-5610S CL-0420 转换器) |
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*1 使用SYNC功能需要在设备之间进行调整。如果您愿意,请单独联系我们。