日本 OKK 大宫工业 扩展器 OEX-SA-8inch OEX-SA-12inch
日本 OKK 大宫工业 扩展器 OEX-SA-8inch OEX-SA-12inch
扩展器
OEX-SA-8inch
OEX-SA-12inch
用途
通过电机控制实现高精度扩展！！可以以0.1mm为单位进行高度调整，速度调整可以以0.1mm/sec进行。通过实现高分解能控制，除了扩展（芯片扩展）之外，还可以进行激光切割后的晶圆分割（切割）等精细操作。
规格
| 8英寸 | 12英寸 | |
|---|---|---|
| 寸法 | W480 × D600 × H564(毫米) | W600 × D720 × H648(毫米) |
| 重量 | 约 70 公斤 | 约 80 公斤 |
| 扩展高度 | 15mm ～ 55mm 停止精度 ±0.1mm | 15mm ～ 100mm 停止精度 ±0.1mm |
| 升降速度 | 1 ～ 20mm/sec 0.1mm/s 可以调整为单位 | 1 ～ 100mm/sec 0.1mm/s 可以调整到单位 |
| 温度调整 | 室温 ～ 80°C | 室温 ～ 80°C |
| 对应尺寸 | 8英寸钻石框架 | 12英寸钻石框架 |
| 空气 | 0.4 Mpa以上 10L/min以上 | 0.4 Mpa以上 10L/min以上 |
| 电源 | AC100V 50/60Hz 10A | AC200V ±10％ 50/60Hz 20A |