OKK 大宫工业 去除器 OTR-SA 特氟龙涂层
OKK 大宫工业 去除器 OTR-SA 特氟龙涂层
去除器
OTR-SA
特点
不受安装位置限制，节省空间的设计。
各种接口锁
晶圆的存在、吸附压力、安全盖、桌子温度等半自动特有的启动条件设置是可能的。
规格
寸法 W680 × D910 × H850(毫米)
重量 约 70kg ～ 80 kg
对象工作 带胶带的晶圆和基板
对应工作尺寸 6英寸・8英寸 / 8英寸・12英寸
适应胶带 BG胶带 其他保护膜 宽度：50～100mm
桌子规格 A5056 特氟龙涂层 / 陶朗加（可选）
驱动空气 0.5Mpa Φ6快速接头
电源 AC 100V 10A 3米电缆附带