ULVAC 爱发科 隔膜型干泵 DA-60S
ULVAC 爱发科 隔膜型干泵 DA-60S
隔膜型干泵
DA-60S
特点
气体接触区域不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
单级排气系统比两级排气系统更快。
具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。
大气压下可以运作。
用途
真空吸盘，晶圆和尖端处理设备。
真空镊子，医疗器械。
印刷设备。
自动包装机。
光学器具。
半导体行业。
注塑机。
规格
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
| 有效排气速度 | L/min | 60 | 72 |
| 极限压力※1 | Pa (kPa) | 21.3×103 （-80.0） | |
| 使用电动机 | 单相, 100V, 200W, 4P, 分相启动 | ||
| 全负荷电流 | A | 5.6 | 5 |
| 重量 | kg | 11 | |
| 吸/排出孔（内螺纹尺寸） | mm | O.D.Φ9×I.D.Φ5 (Rc 1/4) | |
| 使用环境温度范围 | ℃ | 7～40 | |
| 最大尺寸 | mm | 212(W)×278(L)×224.5(H) | |
※1：极限压力如（）真空计显示。