ULVAC 爱发科 CR16B 干泵 CR30B 无需冷却水和氮气
ULVAC 爱发科 CR16B 干泵 CR30B 无需冷却水和氮气
干泵
CR16B
CR30B
CR60B-S
CR60B-T
CR300B
特点
由于排气室是非接触的并且不使用油，因此可以长时间稳定排气。
无需冷却水和氮气，有助于降低运行成本。
安装了DC密封电机实现节能，气密和减重。
气镇压机构可以排出蒸汽。
符合CE,cTUVus
用途
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
真空干燥等水蒸气的排出（需要使用气镇）
溅射，蒸发等真空设备
规格
| 型号 | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
| 最大排气速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
| 到达压力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | |||||
| 最大排气口压力（排出圧力） | 大气压 | |||||
| 电源 *2 | 单相 : 100V, 200V 三相 : 200V | 单相:200V | 三相 : 200V | 三相 : 200V | ||
| 电机额定功率 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
| 吸气口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
| 排气口 | KF25 | KF40 | ||||
| 质量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
| 符合规格 | CE、cTUVus | |||||
| 冷却方式 | 空冷 | |||||
| 气镇机构 *3 | 选配件 | |||||
| 最大水蒸气处理量 e *4 | g/h | <300 | <500 | |||
| 标准附件 | 电源用连接器、信号用连接器、使用说明书、空气过滤器、护套 | |||||
※1 极限压力是气镇阀内没有气体时的值。
※2 请从上表中选择使用电源的相位和电压，订购时注明。
※3 气镇用阀门为选装件。
※4 使用气镇时候的最大水蒸气处理量。水蒸气排气时请务必使用 气镇机构。