ULVAC 爱发科 干泵 LR60 LR90 氦气密封
ULVAC 爱发科 干泵 LR60 LR90 氦气密封
多级罗茨型干泵
LR60
LR90
LR180
LR421
LR421-T
LR300
LR600
LR1200
LR1800
LR3601
LR3601-T(TT)
LR3601-R
LR3601-TR(TTR)
特点
低温区域均热化（Model:LR）
在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）
缩短备料下料室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）
规格
| 型号 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排气速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到达压力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） | 大气压 | |||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1~ 大气压 Pa | |||||
| 吸气口 (CE规格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排气口 | KF40 | VG50 | ||||
| 质量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 电源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
| 电流值 | 稳定时 | 6.9 A (at 200V) | 11.2 A (at 200V) | 18.9 A (at 200V) | 20.8 A (at 200V) | |
| 最大值 | 7.3 A (at 200V) | 11.8 A (at 200V) | 20.6 A (at 200V) | 48.5 A (at 200V) | ||
| 冷却水一次压力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
| 冷却水出入口压差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| 冷却水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
| 吹扫气 | 一次压力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 二次压力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 5 SLM | ||||
| 气镇 | 0~45 SLM | 没有 | 0~45 SLM | |||
| 型号 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601-TR (TTR) | |
| 使用泵 | 干式 真空泵 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
| 机械 增压泵 | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
| 最大 排气 速度 | 50Hz | 359 m3/h (5,980 L/min) | 653 m3/h (10,900 L/min) | 1,012 m3/h (16,900 L/min) | 1,701 m3/h (28,350 L/min) | 3,200 m3/h(53,333 L/min) | |||
| 60Hz | 365 m3/h (6,080 L/min) | 701 m3/h (11,700 L/min) | 1,051 m3/h (17,500 L/min) | 1,784 m3/h (29,700 L/min) | |||||
| 到达压力 | 0.67 Pa | ||||||||
| 最大排气压力 （吸入圧力） | 大气压 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1~ 大气压 Pa | ||||||||
| 吸气口 (CE规格) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | |||||||
| MBP表面处理 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | |
| 质量 | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
| 电源 *2 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | ||||||
| 电流值 | 稳定时 | 7.0 A (at 200V) | 12.3 A (at 200V) | 13.7 A (at 200V) | 21.4 A (at 200V) | 31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | ||
| 最大值 | 9.6 A (at 200V) | 19.0 A (at 200V) | 24.2 A (at 200V) | 39.8 A (at 200V) | 58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |||
| 冷却水 一次压力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
| 冷却水 出入口压差 | >0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
| 冷却水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
| 吹扫气 | 一次 压力 | 0.1~0.5 MPa | |||||||
| 二次 压力 | 0.05~0.1 MPa | ||||||||
| N2 吹扫 | 轴 | 5 SLM | |||||||
| 气镇 | 0~45 SLM | 没有 *3 | 0~45 SLM | 没有 *3 | 0~45 SLM | ||||
*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可选是否进行MBP表面处理。