ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计 SH200-A SH200-R

热阴极电离真空计

SH200-A

SH200-R

SH200-E

用途

用于半导体、电子部件等各种制造装置的高真空区域的工艺控制

确认具有内联式、单片式等多个工艺室的各种制造装置的高真空区域的到达压力

高真空・超高真空装置的压力测定

规格

自适应多离子门传感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)

可连接传感器 多离子门传感器：1个

吡喃计SWU10-R：1本（可选）

大气压传感器SAU：1本（可选）

重复精度（N2）SH200单体模式：±2%

取样时间 60ms 5每次移动平均处理

测量值输出 输出电压DC 0～10V　LOG输出0.75V/1桁

压力换算公式V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}

更新时间 60msec