ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计 ST200-A ST200-R

热阴极电离真空计

ST200-A

ST200-R

ST200-E

特性

提高可用性：PC/通过智能手机连接可以进行设置点设定、状态确认等

灯丝寿命通知功能：通过灯丝的电力监视，可事先通知灯丝寿命

可连接不同测量范围的测量元件：采用多离子计可根据用途选择测量元件

紧凑型：比传统产品小得多（控制器体积减少56%），世界最小

充实阵容：除了模拟输出规格（ST200-A）、串行通信规格（ST200-R）之外EtherCAT计划追加规格（ST200-E）

世界上第一台三极管型金属电离真空计（正在申请专利）：即使在对真空计来说困难的环境下也能实现长寿命

大范围压力测量：大气压至高真空区（1×10+5～1×10-5Pa）可测量（选配件单元SWU10-R连接时）

准确的大气压测量：可确认用于打开腔室的大气压（选配件单元SAU连接时）