ULVAC 爱发科 机械增压泵 PRC-003A PRC-006A

机械增压泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

PRC-018A

特性

无油

由于壳室内没有润滑油，所以对水蒸气、溶剂等蒸汽也能得到稳定的性能。

采用外倾电动机

通过采用坎德马达，可以消除大气/真空的机械密封。无需担心漏油，可在清洁环境中使用。

耐腐蚀性优异表面处理

对主要零件实施表面硬度高耐蚀性出色的铝处理，抑制泵内部的伤和腐蚀。可选的无表面处理。

可有效缩短排气时间的大气压驱动型（选配：逆变器）

因为可以与粗抽泵同时启动，所以与标准型相比可以缩短排气时间。

适用于特殊用途

除了标准之外，还准备了面向特殊用途的机型。