ULVAC 爱发科 皮拉尼真空计 ​ SP1

皮拉尼真空计

 SP1

特性

节省成本、节省空间的换能器型

灯丝材料使用耐腐蚀性优异铂

设置点输出2点测定器输出DC0～5V（非线性输出）

电源电压DC24V输入

用途

用于半导体、电子部件等各种制造装置的低真空区域的工艺控制

用于炉等各种工业机器的低真空领域的过程控制

用于具有多个加工室的各种制造装置的低真空区域的工艺控制

类型 传感器单元

型号 SP1

自适应测试器 WP-01, WP-02, WP-03, WP-16

测量精度

±15 %（51 Pa ～760 Pa）

±30 %（10 Pa ～1000 Pa）

±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa）

使用温度范围 10～40℃

取样时间 50ms 5每次移动平均处理

测量值输出

非线性输出：DC0-5V（Max.10V）

（更新时间）50ms

（分辨率）10mV

设置点1/2调整用输出 非线性输出：DC 0-5V（Max.10V）

控制输出信号 开路集电极、负逻辑

Error信号

设置点1/2

LED表示 电源、错误、设置点1/2

电源电压 DC24V±2V, 90mA（Max.）

输入输出连接器 D-sub-15P（M2.6 screw）

本体质量 190g（不含测量符）

配件

输入输出连接器1组

快速手册1部

IO模拟GND、电源GND没有隔离。