ULVAC 爱发科 UFO-003 UFW-003 油旋转真空泵
ULVAC 爱发科 UFO-003 UFW-003 油旋转真空泵
UFO-003
UFW-003
油旋转真空泵
特性
可以连续排水水分。（使用油水分离元件时）
用途
真空干燥·真空冷冻干燥装置
真空蒸镀装置
真空溅射装置
各种CVDdevice
化学、药品、医疗、食品装置
真空热处理装置
真空溶解炉
离子注入装置
注）
「GLD-280」喂UFW-003连接时，必须在油膜的吸入侧设置油冷却器，降低油温。
ULVAC 爱发科 UFO-003 UFW-003 油旋转真空泵
UFO-003
UFW-003
油旋转真空泵
特性
可以连续排水水分。（使用油水分离元件时）
用途
真空干燥·真空冷冻干燥装置
真空蒸镀装置
真空溅射装置
各种CVDdevice
化学、药品、医疗、食品装置
真空热处理装置
真空溶解炉
离子注入装置
注）
「GLD-280」喂UFW-003连接时，必须在油膜的吸入侧设置油冷却器，降低油温。