ULVAC 爱发科 增压泵 PMB-040C PMB-060C
ULVAC 爱发科 增压泵 PMB-040C PMB-060C
机械增压泵
PMB-040C
PMB-060C
特性
由于壳室内没有润滑油，所以对水蒸气、溶剂等蒸汽也能得到稳定的性能。
可以选择排气的方向。装置设计的自由度变大，装置也可以紧凑化
用途
真空炉等大型腔室排气
规格
用油
ULVOIL R-72
所需油量 8 L
冷却方式 水冷
冷却水 一次侧压力 0.3 Mpa
出入口压差 0.05 Mpa
冷却水量 10 L/min
冷却水温度*2 5 ～ 30 ℃