ULVAC 爱发科 油旋转真空泵 VD30C VD40C
ULVAC 爱发科 油旋转真空泵 VD30C VD40C
油旋转真空泵
VD30C
VD40C
VD60C
VD90C
用途
蒸镀装置、溅射装置、离子镀装置
分析机器·泄漏测试装置
气体置换·液体注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、真空绝热
真空吸附·真空成型
其他各种真空装置
规格
| 型号 | VD30C | VD40C | VD60C | VD90C | ||
| 设计排气速度 | 50Hz | 30 m3/h/ (500 L/min) | 40 m3/h/ (670 L/min) | 60 m3/h/ (1000 L/min) | 90 m3/h/ (1500 L/min) | |
| 60Hz | 36 m3/h/ (600 L/min) | 48 m3/h/ (800 L/min) | 72 m3/h/ (1200 L/min) | 108 m3/h/ (1800 L/min) | ||
| 到达压力 *1 | GP 关 | ≦ 0.67 Pa | ||||
| GP 开 | ≦ 6.7 Pa | |||||
| 最大水蒸气 允许压力 | GP 开 | 50Hz | 1300 Pa | 1360 Pa | 1320 Pa | 970 Pa |
| 60Hz | 1400 Pa | 1760 Pa | 2800 Pa | 2820Pa *2 | ||
| 最大水蒸气 容量 | GP 开 | 50Hz | 190 g/h | 270 g/h | 430 g/h | 480 g/h |
| 60Hz | 250 g/h | 410 g/h | 1100 g/h | 1650 g/h *2 | ||
| 电机 *3 | 电机类型 | 全封闭外扇形三相感应电动机 | ||||
| 高效率等級 | IE3 | |||||
| 出力 | 1.5 kW(4 极数) | 1.5 kW(4 极数) | 2.2 kW(4 极数) | 3.7 kW(4 极数) | ||
| 电压 | 50Hz | 200 ～ 240 /380 ～ 415 V | ||||
| 60Hz | 200 ～ 240 /380 ～ 460 V | |||||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||||
| 油量 | 1.0 ～ 2.5 L | 2.5 ～ 4.0 L | ||||
| 冷却方式 | 空冷 Air cooled | |||||
| 吸气口 JIS B 2290 ( ISO KF ) | VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 ) | VG50 ( 选配件 KF50 相当 ) | ||||
| 排气口 JIS B 2290 ( ISO KF ) | VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 ) | |||||
| 外形尺寸 WxDxH | 210×660× 324mm | 210×680× 324mm | 280×761× 371mm | 280×831× 371mm | ||
| 重量 | 58kg | 60kg | 90kg | 113kg | ||
| 符合规格 | CE | |||||
| 标准附属品 | 泵所需油量 | |||||
| 推荐的油雾收集器 ( Optional ) *4 | TM201 ： 低负载运行 | TM401 ： 低负载运行 | ||||
| TM401 ： 高负荷运行 | TM-2 ( VD ) ： 高负荷运行 | |||||
| 选配件 | 油雾收集器，各种油，气镇阀，ISO法兰，增加了防爆电机，特殊应用的耐压防爆电机 | |||||
Note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
6.7 Pa = 5 × 10-2 Torr