ULVAC 爱发科 电源 HPS-510S PS-1000N-100
ULVAC 爱发科 电源 HPS-510S PS-1000N-100
电子基板台用电源
HPS-510S
PS-1000N-100
HPS-1000N-200
HPS-1000N-G100
HPS-1000N-G200
HPS-1600F-DS100
HPS-1600F-DS200
HPS-1600F-DS101
特性
无需冷却水
强制空冷方式不需要冷却水
高可靠性
将作为装置制造商积累的经验技术反馈给设计
易于使用
通过在操作面板上采用液晶触摸面板，操作性提高
扫描波形变化
XY扫描WAVE EDIT、可按区域控制停留重量、圆扫描、圆形式编辑、螺旋等各种光束的扫描形式制作※
高速电弧切断功能
通过高速电弧切断，构成将蒸镀速率降低抑制到最小限度电路
※HPS-510S除去
仕様
| Model | HPS-510S | HPS-1000N-100 | HPS-1000N-200 | HPS-1000N-G100 | HPS-1000N-G200 | |
| 仕様 | 1ソース | 1ソース | 2ソース | 1ソース（光学用） | 2ソース（光学用） | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC190～231V | ||||
| 入力容量 | 7kVA | 14kVA | 15kVA | 14kVA | 15kVA | |
| 出力仕様 | 定格電力 | 5kW | 10kW | |||
| 電圧範囲 | -4k～-10kV | |||||
| リップル率 | 2％p-p以下 | |||||
| ビーム電流 | 0～0.5A | 0～1.0A | ||||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||||
| 外形寸法（W×D×H）（電源本体）突起物を含まない | 480×620×300（mm） | 494×701×712（mm） | ||||
| 外形寸法 （W×D×H）（ガンコントローラ）突起物を含まない | ー | 480.5×499×143（mm） | ||||
| 質量（電源本体） | 45kg | 120kg | 133kg | 120kg | 133kg | |
| 質量（ガンコントローラ） | - | 11.5kg | ||||
| 適合規格 | - | CE | ||||
| Model | HPS-1600F-DS100 | HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |
| 仕様 | 1ソース | 2ソース | 1ソース（H Type） | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC190～231V | ||
| 入力容量 | 21kVA | 22kVA | 21kVA | |
| 出力仕様 | 定格電力 | 16kW | ||
| 電圧範囲 | -4k～-10kV | |||
| リップル率 | 2％p-p以下 | |||
| ビーム電流 | 0～1.6A | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||
| 外形寸法（W×D×H）（電源本体）突起物を含まない | 500×700×710（mm） | |||
| 外形寸法 （W×D×H）（ガンコントローラ）突起物を含まない | 480.5×499×143（mm） | |||
| 質量（電源本体） | 113kg | 120kg | 113kg | |
| 質量（ガンコントローラ） | 11.5kg | 12kg | ||