ULVAC 爱发科 金属膜 电子基板台 EGL-103S EGL-35
ULVAC 爱发科 金属膜 电子基板台 EGL-103S EGL-35
适用于生产具有很多实绩的通用性高的金属膜的电子基板台
EGL-103S
EGL-35
EGL-35M
EGL-110
EGL-80M
特性
由于电子束会被电磁场偏转，所以二次电子对被蒸镀体的影响极小。
即使是升华性的物质X轴Y通过在轴上扫描，可以消除钻孔现象，顺利蒸发。（日本国专利831485、843447号所有）
电子束偏转270°，不会暴露在蒸发材料的蒸汽中，灯丝寿命长。
因为发射体组件的装卸容易，灯丝，绝缘子等的交换简单。
仕様
| Model | EGL-103S | EGL-35 | EGL-35M | EGL-110 | EGL-80M | |
| 電子ビーム偏向角度 | 270° | |||||
| るつぼ数 | 3 | 1 | 4 | 1 | 4 | |
| るつぼ容量 | 10cc | 40cc | 40cc ×2/10cc×2 | 110cc | ||
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | 35Φ×31Φ×11H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm） | 75Φ×59Φ×32H（mm） | 75Φ×57Φ×32H（mm） | |
| 冷却水量 | ハース | 10L/min以上 | 19L/min以上 | 20L/min以上 | ||
| その他 | 2L/min以上 | - | 2L/min以上 | ー | 4L/min以上 | |
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 313×250×108（mm） | 160×206×79（mm） | 170×240×156（mm） | 136×220×90（mm） | 265×318×168（mm） | |
| 質量 | 約16kg | 約10kg | 約18kg | 約15kg | 約30kg | |
| 蒸着速度 | - | 1.8μm/min以上 （Al/8kW/ハース直上 250H） | 1.6μm/min以上 （Al/8kW/ハース直上 250H） | 4.5μm/min以上 （Al/16kW/ハース直上 250H) | 4μm/min以上 （Al/16kW/ハース直上 250H) | |
| 最大加速電圧 | -10kV | |||||
| 最大エミッション電流 | 0.6A | 1.0A | 1.6A | |||
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | HPS-1600F-DS100/ HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |||