ULVAC 爱发科 光学膜 电子基板台 EGO-1G EGO-40M
ULVAC 爱发科 光学膜 电子基板台 EGO-1G EGO-40M
适合生产具有很多实绩的通用性高的光学膜的电子基板台
EGO-1G
EGO-40M
特性
由于电子束会被电磁场偏转，所以二次电子对被蒸镀体的影响极小。
即使是升华性的物质X轴Y通过在轴上扫描，可以消除钻孔现象，顺利蒸发。（日本国专利831485、843447号所有）
电子束偏转270°，不会暴露在蒸发材料的蒸汽中，灯丝寿命长。
因为发射体组件的装卸容易，灯丝，绝缘子等的交换简单。
仕様
| Model | EGO-1G | EGO-40M | |
| ビーム偏向角 | 270° | ||
| るつぼ数 | 0 | 4 | |
| るつぼ容量 | - | 10cc ×2 / 40cc ×2 | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | - | 32Φ×24Φ×15H （mm）/50Φ×41Φ×25H （mm） | |
| 冷却水量 | ハース | - | 10L/min以上 |
| その他 | 2L/min | - | |
| 外形寸法 W×D×H(突起物を含まない) | 166×285×174 (mm) | 170×309×174 (mm) | |
| 質量 | 約12.5kg | 約18kg | |
| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 1.0A | 0.6A/1.0A | |
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||