ULVAC 爱发科 电子基板台 EGN-206M EGN-406M
ULVAC 爱发科 电子基板台 EGN-206M EGN-406M
电子基板台
EGN-206M
EGN-406M
特性
抑制入射到基板反射电子，降低基板温度上升
通过采用平顶结构，对电子束蒸发源的着膜面积少，容易清扫
通过采用新发射极结构，部件数量与以往相比减少到60%，组装容易
通过变更一部分零件，可以选择带状形状梁和点形状梁
通过以作为装置制造商多年积累的经验为基础设计，实现压倒性的可靠性
仕様
| Model | EGN-206M | EGN-406M | |
| 電子ビーム偏向角度 | 270° | ||
| るつぼ数 | 6 | ||
| るつぼ容量 | 20cc | 40cc | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | Φ42×Φ32×19(mm) | Φ50×Φ41×25(mm) | |
| 冷却水量 | ハース | 10L/min以上 | |
| その他 | 2L/min以上 | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 214×343×144（mm） | ||
| 質量 | 28kg以下 | ||
| 蒸着速度 | 1.6μm/min （リボンビーム/Al/8kW/40ccるつぼ/ハース直上250H） | ||
| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 0.8A | 1.0A | |
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||