ULVAC 爱发科 VLHｰMB100CH VLHｰMB160CH 真空角阀

VLHｰMB016CH

真空角阀

特性

SUS制角阀可以烘烤到150℃。

连接法兰JIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CF对较大场景进行渲染期间已观察到该故障。

驱动方式准备了双动式、单动式。单动式的情况下，只需一个压空线即可。

材质是不锈钢制的。（但是VLP-U是铁制的VAP、VAH、VFR是铝制的。）

规格

型号 VLH-MB

阀板容许最大差压（正压/逆压）MPa 0.10

开阀时允许最大压差（正压/逆压）MPa 0.10

阀板密封方式 〇戒指

轴密封方式 波纹管

驱动方式 手动

泄漏量（外部）*1Pam3/s ≦1.0E-10

泄漏量（内部）*1Pam3/s ≦1.0E-10

使用压力范围（绝对压力）Pa 大气压～1.0E-8

允许烘烤温度（静止时）*2℃ 主机：150*3，驱动部：70

工作环境温度℃ 5～70

使用流体温度℃ 5～70

加热及冷却速度℃/h ≦30

使用环境 非腐蚀性气氛

使用流体 非腐蚀性流体

气缸供给压力空压力MPaG 一

保修动作次数*4 10,000

运行姿势 自由

开关传感器 一

真空侧主要部件材质 SUS304

大气侧主要部件材质 SUS304,AL-6061（铝酸盐）

波纹管材质 SUS316L

密封部件材质（真空侧） 外部密封：金属

内部密封：FKM

油脂类（真空侧） 无润滑油

吊具安装部 无*5

RoHS 应对