ULVAC 爱发科 VLBｰSA040KF VLBｰSA050KF 真空角阀
ULVAC 爱发科 VLBｰSA040KF VLBｰSA050KF 真空角阀
VLBｰSA016KF
VLBｰSA025KF
VLBｰSA040KF
VLBｰSA050KF
真空角阀
规格
型号 VLB-SA
阀板容许最大差压（正压/逆压）MPa 0.10
开阀时允许最大压差（正压/逆压）MPa 0.10
阀板密封方式 〇戒指
轴密封方式 〇戒指
驱动方式 双动气缸
泄漏量（外部）*1Pam3/s ≦1.0E-10
泄漏量（内部）*1Pam3/s ≦1.0E-10
使用压力范围（绝对压力）Pa 大气压～1.0E-5
允许烘烤温度（静止时）*2℃ 主机：150*3，驱动部：70（传感器：60）
工作环境温度℃ 5～70（传感器：5-60）
使用流体温度℃ 5～70
加热及冷却速度℃/h ≦30