ULVAC 爱发科 VFR-400 VFR-500 钟摆阀 逆压消除机构
ULVAC 爱发科 VFR-400 VFR-500 钟摆阀 逆压消除机构
VFR-400
VFR-500
钟摆阀
特性
采用不具有机械锁止机构的独立密封机构和逆压消除机构
成为粒子产生原因的滑动部分极少的构造
开关动作时、密封时几乎没有冲击（振动）
易于维护
不从装置、泵上拆下阀，就可以装卸阀箱
从取下壳体状态，通过取下1根螺栓，能够进行阀体单元的装卸
不选择安装场所的设计
“Model:VFR”的安装姿势自由360度
仕様
| Model | VFR-400 | VFR-500 | |
| 呼び口径 | Φ400mm | Φ500mm | |
| 接続フランジ（JIS B2290相当） | VF400 | VF500 | |
| 開閉仕様 | 2位置 | ||
| 開閉動作原理 | 圧空作動式 | ||
| 開閉動作時間（2位置仕様） | 8s 以下 | 12s 以下 | |
| 弁板シール性能 | 逆圧対応 | ||
| 弁板シール可能最大差圧(正圧時) | 0.12 MPa | ||
| 弁板シール可能最大差圧(逆圧時) | 0.12 MPa | ||
| 開閉許容最大差圧(正圧時) | 0.5 kPa | ||
| 開閉許容最大差圧(逆圧時) | 0.5 kPa | ||
| 開放コンダクタンス | 50000L/s | 90000L/s | |
| 使用圧力範囲 | 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs) | ||
| ベーキング許容温度（静止時） | バルブボディ | 120℃ 以下 | |
| シリンダ | 80℃ 以下 | ||
| 動作環境温度 | 10～80℃ | ||
| 使用流体温度 | 10～80℃ | ||
| シリンダ供給圧空圧力 | 0.5～0.7MPaG | ||
| 圧空供給口径 | Φ8管継手 | ||
| メンテナンスサイクル | 10万回 | ||
| 取付姿勢 | 自由 | ||
| 主要部品材質 | バルブボディ | AC4CH-T6 | |
| 弁板 | AC4CH-T6 | ||
| シール部品材質 | 真空側 | フッ素ゴム | |
| 油脂類 | Z300グリス | ||
| 総質量 | 98kg | 155kg | |
| 面間寸法 | 150mm | 170mm | |