ULVAC 爱发科 CCMT-10D CCMT-1D 电容电流计
ULVAC 爱发科 CCMT-10D CCMT-1D 电容电流计
CCMT-1000D
CCMT-100D
CCMT-10D
CCMT-1D
电容电流计
特性
长期稳定性
通过采用陶瓷膜，具有优异耐腐蚀性
内置温度补偿电路类型
新采用保护传感器不受污染的结构
可通过按钮进行0点调整
用途
在成膜装置的过程中的压力监视器上
真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监视器
在太阳能电池等各种制造装置的压力监视器上
仕様
| 型式 | CCMT-D | ||
| 測定 フルスケール | CCMT-1000D | 133kPa F.S. | |
| CCMT-100D | 13.3kPa F.S. | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa F.S. | ||
| CCMT-1D | 133Pa F.S. | ||
| 分解能 | フルケースに対し0.003% | ||
| 精度 *1 | 指示値に対し ±0.2% ±温度係数 | ||
| 温度係数 | ゼロ電圧 | 0.015% F.S. / ℃ | |
| スパン電圧 | 0.01% R / ℃ | ||
| 使用温度範囲 | 10～50℃ | ||
| 応答速度 | 30ms以下 | ||
| 接ガス部材質 | Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田 | ||
| 入力電源 | DC14～30V, 1W | ||
| 出力 | DC 0～10VF.S | ||
| 質量 | 329g（直径12.7・標準型） | ||
| 外形寸法 | 直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型) | ||
| フィッティング | 標準：直径12.7パイプ オプション：NW16KF、Cajon 8VCR | ||
| 温度補償 | 温度補償回路内臓 | ||
| 入出力コネクタ | D-sub 15ピン オス | ||
*1：2時間電源投入後、使用環境温度25℃、ゼロ点調整実施
*2：28% Ni, 23% Co, 49% Fe
*3：18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe