ULVAC 爱发科 冷阴极电离真空计 ​SC1

冷阴极电离真空计

SC1

特性

测量元件和测量电路一体结构

模拟输出及设置点输出

独立的伪日志输出及设置点输出（显示单元）

48 x 96mm的，之DIN采用规格尺寸（显示单元）

用途

以半导体、电子部件为首的各种制造装置的工艺控制

以炉为首的各种产业机器的过程控制

对于具有多个加工室的各种制造装置的过程控制

规格

类型 传感器单元

型号 SC1

自适应测试器 C-21、23、24、25

测量压力范围 1.0×10-5 ～ 1.0 Pa

测量精度 ＋100%, －50%（1.0×10-4 ～ 1.0×10-1）

使用温度范围 10 ～ 40℃

测量值输出 非线性输出：DC0V ～ 10V（HV-OFF时，10V）

SETPOINT1/2调整用输出 非线性输出：DC0 ～ 10V

控制输入信号 HV ON/OFF

输出信号 开路集电极、负逻辑

控制输出信号 放电确认/设置点1/2

LED表示 力量HV、压力保护，设置点1/2

电源 DC24V±2V、150mA

输入输出连接器 D-sub-15销（M2.6螺钉）

本体质量 430g（不含测量符）

配件 输入输出连接器1组

快速手册1部