日本ULVAC 爱发科 排气机 VPC-051 VPC-051A 自动泄漏阀
日本ULVAC 爱发科 排气机 VPC-051 VPC-051A 自动泄漏阀
排气机
VPC-051
VPC-051A
VPC-250F
特点
桌面型和紧凑型可节省安装空间。
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
如果发生电源故障，通过自动泄漏阀保护主泵。
空冷型，不需要冷却水。
规格
型号 VPC-051A
极限压力 7.0×10-４Pa
1.5×10-４Pa（使用液氮时）
主泵 油扩散泵（空冷） 50 L/sec
辅助泵 油回转真空泵 20 L/min
主阀门 25A蝶阀
辅助阀门 三通阀
吸气口 VG-25
重量 20kg
最大尺寸 （W×D×H） 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾阱可选