日本ULVAC 爱发科 气体分析仪 CGM2-051 CGM2-101 可进行全压测定
日本ULVAC 爱发科 气体分析仪 CGM2-051 CGM2-101 可进行全压测定
气体分析仪
CGM2-051
CGM2-101
CGM2-052
CGM2-102
特点
适用于各种溅射系统的工艺监控
Air Leak监控
残留水分管理
清洗液残留物
Galden® 和其他制冷剂泄漏
残余碳氢化合物监测
无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
内置显示屏：无需PC可单独操作使用
可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-102）
可进行全压测定
操作简单-One Click功能
标配Qulee QCS软件
支持CE标准
规格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
型号 | CGM-051 | CGM2-101 | CGM-052 | CGM2-102 |
质量分离方式 | 四极型质量分析仪 | |||
质量数范围 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
检出器 | 法拉第杯 | 二级电子倍增管／法拉第杯 | ||
感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
最小检知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
线性 | 1Pa | |||
全压力测量功能 | 有 | |||
Degas function | Electron bombard type 300V, 5mA | |||
一键检漏功能 | 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
电源电压 | DC24V±10％ 50W | |||
最大烘烤可能温度 | 120℃ | |||
最大烘烤可能温度 | 250℃ | |||
使用温度范围 | 10～40℃ | |||
接口 | Ethernet | |||
软件 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 | |||
符合标准 | CE | |||