日本ULVAC 爱发科 油扩散泵 DPF-200 DPF-050 超音速喷射加热
日本ULVAC 爱发科 油扩散泵 DPF-200 DPF-050 超音速喷射加热
油扩散泵
DPF-200
DPF-050
是通过从喷射部以超音速喷射加热后成为蒸汽的油而进行真空排气的真空泵。不需要冷却水的空冷式。
特性
不需要冷却水的空冷式。
可以得到很大的排气速度。
DPF-200 仕様
| 項目 | 単位 | 50Hz | 60Hz |
| 実行排気速度 | L/sec | 200 | 200 |
| 到達圧力 | Pa | 1.0×10-5 | |
| モータ出力 | W | 450 | |
| 使用油 | SY | ||
| 油量 | mL | 70 | |
| 質量 | kg | 5 | |
| 吸・排気口 | mm | VG-65/KF-25 | |
| 使用雰囲気温度範囲 | ℃ | 7～40 | |
| 最大寸法 | mm | 145(W) × 260.5(L) × 285(H) | |