日本ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 VPT-060 排气装置
日本ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 VPT-060 排气装置
涡轮分子泵
VPT-060
在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。
特点
完全干燥的排气装置。
安装空间紧凑。
规格
50Hz/60Hz
极限压力 10-5 Pa
重量 17 kg
吸气口 ISO63（选购配件：KF-40）
环境温度 8～38 ℃
最大尺寸 340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H)
RoHS指令 ●
*电离真空计・皮拉尼真空计・配管部品可选。
*根据使用条件，性能可能会降低。