日本ULVAC 爱发科 UNECS-1500A 快速椭偏仪 UNECS-2000A 自动类型

快速椭偏仪

自动类型

UNECS-1500A

UNECS-2000A

UNECS-3000A

特点

高速測定：

独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱：

波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

紧凑型传感器单元：

光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

150mm自动载物台：

配备兼容φ150mm的R-θ自动载物台，并具备自动对焦功能，可实现基板表面的自动映射测量。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量

规格