日本ULVAC 爱发科 快速椭偏仪 内置类型 UNECS-1M
日本ULVAC 爱发科 快速椭偏仪 内置类型 UNECS-1M
快速椭偏仪
内置类型
UNECS-1M
特点
高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
内置型：
紧凑轻巧的传感器单元和控制单元使其易于集成到检查设备中。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量
规格
波长范围 530～750nm、380～760nm（选择）
点径 Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度 70°固定
膜厚再现性 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围 1nｍ～2μｍ
测量时间 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms
机器构成 测量头、控制器BOX、光源单元、使用说明书（CD）、解析软件（CD）
＊控制PC不含在标准中