日本ULVAC 爱发科 快速椭偏仪 手动类型 UNECSｰPortable UNECS-1500M
日本ULVAC 爱发科 快速椭偏仪 手动类型 UNECSｰPortable UNECS-1500M
快速椭偏仪
手动类型
UNECSｰPortable
UNECS-1500M
特点
高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
便携性：
轻巧紧凑，易于移动和携带。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量
UNECSｰPortable
规格
| 波长范围 | 530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（选择） | |
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm（选择） | |
| 入射角度 | 70°固定 | |
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |
| 膜厚范围 | 1nm ～ 2μｍ | |
| 测量时间 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |
| 平台 | 固定类型（Φ150mm以下、可拆卸） | |
| 控制PC | 笔记本类型（带操作/分析软件） | |
| 机器构成 | 测量本体（带固定台）、控制器BOX、光源单元 操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD） | |