日本ULVAC 爱发科 BGM2-201 气体分析仪 BGM2-101 可以测量总压力

气体分析仪

BGM2-101

BGM2-201

BGM2-102

BGM2-202

残留气体分析仪(RGA)，革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。最适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。

特点

性价比优异的通用规格

测量质量范围 1～200 amu

显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量

操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作

增强检漏功能

可以测量总压力

标准搭载Qulee QCS软件

符合CE

用途

真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析

高真空排气设备的残留气体分析

冷冻干燥设备的残留气体分析

研究开发用途的各种气体分析

仕様

分解能M/△M=1M(10% P.H.)