日本ULVAC 爱发科 UTM1500A-MS 分子泵 UTM1300A-MS 自由安装方向
日本ULVAC 爱发科 UTM1500A-MS 分子泵 UTM1300A-MS 自由安装方向
涡轮分子泵
UTM1300A-MS
UTM1500A-MS
UTM2400A-MS
UTM3400A-MS
UTM4300A-MS
特性
泵主体和控制器部分开放置
控制器部可监控运行状态，支持各种通信规格。
自由安装方向
因为安装方向没有限制，所以装置设计的自由度会扩大。
排气速度300L/s ～ 4000L/s列出类
泵转速在25-100%范围内变化
转速可以可变，可以调节腔室的压力。
高耐久性和安全性
通过了大气突入试验、触控试验等各种安全性确认试验。
| Model | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 吸気口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 排気口 | KF40 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 到達圧力 *1 | Pa | 10-7 | |||||
| 排気速度 *2 | N2 | L/s | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| Ar | L/s | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| He | L/s | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| H2 | L/s | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 圧縮比 | N2 | 6×108 | 1×109 | ||||
| He | 1×104 | 7×104 | 1×105 | 3×104 | |||
| H2 | 1×103 | 3×103 | 6×103 | 2×103 | |||
| 最大吸気口圧力 *3 | Pa | 133 | 40 | ||||
| 最大排気口圧力 *3 | Pa | 270 | 270 | ||||
| 回転数 | rpm | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 起動時間 | 7分以内 | 11分以内 | 12分以内 | 18分以内 | |||
| 取付方向 | 全方位取付可能 | ||||||
| 表面処理 | ニッケルめっき | ||||||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1～3 | 2～4 | |||
| 水圧 | MPaG | 02～0.5 | |||||
| 騒音 | dB(A) | 60 | 57 | 60 | |||
| 質量 | kg | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推奨補助ポンプ | 600L/min以上 | 1300L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
| コントローラ | 構成 | 別置き | |||||
| 入力電源 | 単相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | ||||||
| 最大所要電力 | kVA | 1.0 | 1.5 | ||||
| 回転数可変機能 | ポンプの規定回転数の25% ～100%の間で、運転回転数の変更が可能（設定は0.1%単位） | ||||||
| 外部制御 | 接点入出力 | ||||||
| RS-232C / RS-485 | |||||||
| 質量 | kg | 8 | |||||
*1：オーダーを示す。
*2：保護ネットなしの場合の値です。
*3：最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。