日本ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 UTM300A-MS UTM400A-MS 磁悬浮轴承
日本ULVAC 爱发科 涡轮分子泵 UTM300A-MS UTM400A-MS 磁悬浮轴承
涡轮分子泵
UTM300A-MS
UTM400A-MS
UTM800A-MS
UTM1000A-MS
涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。
特点
泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。
分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
高耐用性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。
用途
各种设备的主真空排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 研究开发设备
- 分析设备、实验装置等
主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。
其他的高真空排气系统。
仕様
表１
| Model | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 吸気口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 排気口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | 空冷 | 水冷 | 空冷 | 水冷 | 空冷 | 水冷 | 空冷 | ||
| 到達圧力 *1 | Pa | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 排気速度 *2 | N2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| Ar | L/s | ー | ||||||||
| He | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 圧縮比 | N2 | 1×109 | ||||||||
| He | 8×104 | |||||||||
| H2 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大吸気口圧力 *3 | Pa | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大排気口圧力 *3 | Pa | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 回転数 | rpm | 45000 | 35000 | |||||||
| 起動時間 | 5分以内 | |||||||||
| 取付方向 | 全方位取付可能 | |||||||||
| 表面処理 | ニッケルめっき | |||||||||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー |
| 水圧 | MPaG | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | |
| 騒音 | dB(A) | 60 | ||||||||
| 質量 | kg | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推奨補助ポンプ | 200L/min以上 | 500L/min以上 | ||||||||
| コントローラ | 構成 | 別置き | ||||||||
| 入力電源 | 単相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大所要電力 | kVA | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 回転数可変機能 | ポンプの規定回転数の25% ～100%の間で、運転回転数の変更が可能（設定は0.1%単位） | |||||||||
| 外部制御 | 接点入出力 | |||||||||
| RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 質量 | kg | 8 | ||||||||
*1：オーダーを示す。
*2：保護ネットなしの場合の値です。
*3：最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。